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Modeling Mechanical Stress in the Silicon Fabrication Process using Comsol-Multiphysics

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更新时间：2008-07-01

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Modeling Mechanical Stress in the Silicon Fabrication Process
using Comsol-Multiphysics
Aditya. Kalavagunta1*
1 Vanderbilt University
* 5637 Stevenson Center Nashville TN 37232, aditya.n.kalavagunta@vanderbilt.edu

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